芯東西（公眾號：aichip001）
作者 | ?ZeR0
編輯 | ?漠影
芯東西5月(yue)19日報道，今日，深圳高端半導體質量控(kong)制設備公司中科飛測成功登陸科創板。
中(zhong)科飛測的發(fa)行價為(wei)23.60元(yuan)/股(gu)，發(fa)行市(shi)盈率為(wei)14.83倍。今(jin)日上(shang)市(shi)后，其股(gu)價開(kai)盤上(shang)漲179.66%至66.00元(yuan)/股(gu)，最(zui)高上(shang)漲203.64%至71.66元(yuan)/股(gu)。截至10點(dian)05分，其股(gu)價為(wei)66.06元(yuan)/股(gu)，漲幅(fu)為(wei)179.92%，市(shi)值逾210億元(yuan)。
其有限公司成立于2014年12月，股份公司成立于2020年12月。中科飛測始終專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發、生產和銷售。其產品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等，已應用于國內28nm及以上制程的集成電路制(zhi)造產線。
該公司主要根據銷售訂單及銷售預測進行生產，并主要通過直銷模式進行產品和服務銷售，主要產品已廣泛應用在中芯國際、長江存儲、士蘭集科、長電科技、華天科技、通富微電等國內主流集成電路制造產線，打破在質量控制設備領域國際設備廠商對國內市場的長期壟斷局面。
蘇州翌流明是中科飛測的控股股東，中科院微電子所、華為哈勃投資均在(zai)其股東之列。中科(ke)(ke)飛測的實際控制(zhi)人(ren)CHEN LU（陳魯(lu)）、哈承姝為夫妻關系。包(bao)括CHEN LU（陳魯(lu)）在(zai)內(nei)的3名中科(ke)(ke)飛測核心技術人(ren)員都曾在(zai)中科(ke)(ke)院微電子所(suo)任(ren)職(zhi)。
本次IPO，中科飛測擬募資10億元，投入(ru)高端半導體質量控制設備產業(ye)化項(xiang)目、研發中心(xin)升級建設項(xiang)目、補充流動(dong)資金。
一、檢測&量測：保證芯片生產良品率非常關鍵
質量控(kong)制設(she)備是芯片制造(zao)的(de)核心(xin)設(she)備之一。質量控(kong)制貫穿集(ji)成電路制造(zao)全過程，是保證芯片生(sheng)產良品率非常關(guan)鍵的(de)環(huan)節。
集成電路質量(liang)控制包括前(qian)道(dao)(dao)(dao)檢測(ce)、中道(dao)(dao)(dao)檢測(ce)和后道(dao)(dao)(dao)測(ce)試，國內多家公司涉及(ji)后道(dao)(dao)(dao)測(ce)試，涉及(ji)前(qian)道(dao)(dao)(dao)檢測(ce)和中道(dao)(dao)(dao)檢測(ce)的相對較少。中科飛測(ce)主要向集成電路前(qian)道(dao)(dao)(dao)制程、先進封(feng)裝等企業以及(ji)相關設備、材料廠商提供(gong)關鍵質量(liang)控制設備。
其檢測(ce)和量(liang)測(ce)設備能夠(gou)對(dui)上述(shu)企業的(de)生產過程進(jin)行(xing)全面(mian)質量(liang)控制和工藝檢測(ce)，助推客戶提升工藝技術、提高良(liang)品率、實現降(jiang)本增效的(de)目(mu)標。
▲中科飛測主(zhu)要產品演變和技術發展的情況
目前，我(wo)國半導體(ti)檢測(ce)與(yu)量測(ce)設備市場中國產化率較低，科(ke)磊半導體(ti)、應用材料(liao)、日(ri)立作為(wei)中國市場前三大(da)企(qi)業，合計市場份額(e)占比超過70%。中科(ke)飛測(ce)及(ji)國內主要競爭對(dui)手占國內市場的(de)份額(e)整體(ti)較小(xiao)，但(dan)呈現快速增(zeng)長趨勢。
▲2016-2020年全球和中國大陸(lu)半導體（檢測和量(liang)測）設備市場情況
2016年至2020年，全球和(he)中(zhong)國大陸(lu)(lu)地區(qu)半導體(ti)設備和(he)檢(jian)測(ce)與量(liang)測(ce)設備市(shi)(shi)場處(chu)于(yu)快速(su)發展期，中(zhong)國大陸(lu)(lu)地區(qu)半導體(ti)設備市(shi)(shi)場和(he)檢(jian)測(ce)與量(liang)測(ce)市(shi)(shi)場增長顯著高于(yu)全球市(shi)(shi)場增長。
中(zhong)(zhong)科(ke)飛測(ce)(ce)國內(nei)競爭(zheng)對(dui)手(shou)主要(yao)為上海(hai)睿勵(li)和上海(hai)精(jing)測(ce)(ce)。鑒于目前無(wu)公開統計國內(nei)企業的(de)市場(chang)(chang)(chang)占(zhan)有率情況(kuang)，故無(wu)法(fa)直接獲取中(zhong)(zhong)科(ke)飛測(ce)(ce)及(ji)相(xiang)關競爭(zheng)對(dui)手(shou)市場(chang)(chang)(chang)占(zhan)有率情況(kuang)。下文(wen)以銷售收入占(zhan)市場(chang)(chang)(chang)規模(mo)比例的(de)方(fang)式對(dui)國內(nei)企業市場(chang)(chang)(chang)占(zhan)有率進行模(mo)擬測(ce)(ce)算，中(zhong)(zhong)科(ke)飛測(ce)(ce)市場(chang)(chang)(chang)占(zhan)有率增(zeng)長較(jiao)快，由2018年的(de)0.35%增(zeng)長至2020年的(de)1.74%，在中(zhong)(zhong)國大陸半導體檢測(ce)(ce)和量測(ce)(ce)設備(bei)市場(chang)(chang)(chang)具有相(xiang)對(dui)競爭(zheng)優勢。
二、三年半收入7.76億元
2019年(nian)、2020年(nian)、2021年(nian)、2022年(nian)1~6月(yue)，中(zhong)科飛測營收分(fen)(fen)別為0.56億(yi)元(yuan)、2.38億(yi)元(yuan)、3.61億(yi)元(yuan)、1.21億(yi)元(yuan)；凈(jing)利潤分(fen)(fen)別為-0.97億(yi)元(yuan)、0.40億(yi)元(yuan)、0.53億(yi)元(yuan)、-0.32億(yi)元(yuan)。
▲2019年(nian)至2022年(nian)上(shang)半年(nian)中科(ke)飛測營收、凈利潤、研發費用變化（單位：億元，芯東西(xi)制表(biao)）
同(tong)期(qi)研發投入占營收的(de)比例分別為100.01%、19.43%、26.36%、72.28%。
▲2019年(nian)至2022年(nian)上(shang)半年(nian)中(zhong)科飛(fei)測(ce)主營業務收(shou)入分布(bu)變(bian)化（芯東西(xi)制表）
分設(she)(she)備(bei)類型來看，檢測(ce)設(she)(she)備(bei)的(de)收入占比(bi)逐(zhu)年上(shang)升，量測(ce)設(she)(she)備(bei)的(de)收入占比(bi)從(cong)近四成(cheng)降至兩成(cheng)。檢測(ce)設(she)(she)備(bei)的(de)毛利率(lv)高于量測(ce)設(she)(she)備(bei)。
其各產品的產量(liang)和銷量(liang)情(qing)況如下：
報告期(qi)內，中科(ke)飛測與可(ke)比(bi)公(gong)司的綜合毛利率對比(bi)情況如下：
2019年(nian)，中科飛測銷售的設備以基礎型(xing)號(hao)為主，且尚處(chu)于(yu)發(fa)展(zhan)初(chu)期、經營規模較小，毛(mao)(mao)利率(lv)整(zheng)體低于(yu)同行業(ye)平(ping)均水(shui)平(ping)。隨(sui)著其(qi)升級型(xing)號(hao)設備的不斷推出、經營規模逐步擴大，2020年(nian)度其(qi)毛(mao)(mao)利率(lv)達到同行業(ye)平(ping)均水(shui)平(ping)，2021年(nian)度及(ji)2022年(nian)1~6月毛(mao)(mao)利率(lv)較高的檢(jian)測設備為主，毛(mao)(mao)利率(lv)繼續上升。
報告期(qi)內，同行業可(ke)比公司（剔除華峰(feng)測控后）綜合毛(mao)利率平均(jun)值總體呈現上升趨勢，中科飛測綜合毛(mao)利率變動趨勢與(yu)可(ke)比公司基本一致。報告期(qi)各期(qi)末，其存貨(huo)(huo)賬面價值分別為0.79億元(yuan)、1.79億元(yuan)、5.39億元(yuan)、8.29億元(yuan)，存貨(huo)(huo)規模較大。
三、對應1Xnm產線的設備正在研發，對應2Xnm以下產線的設備正在驗證
截至2022年(nian)6月30日，中科飛測(ce)共有(you)676名員工，其中研(yan)發人(ren)員共298人(ren)，占比為44.08%。
該公司承擔(dan)了(le)多項(xiang)國家(jia)級、省級和市(shi)級科研項(xiang)目，并獲得一定規模的政府(fu)補助，各期政府(fu)補助確認(ren)的其他(ta)收益金額分別為0.23億(yi)元、0.38億(yi)元、0.48億(yi)元、0.41億(yi)元。
技(ji)術(shu)水(shui)平方(fang)面，根據國內(nei)競(jing)爭(zheng)對(dui)手公司官網及公開披露信(xin)(xin)息(xi)，上(shang)海睿(rui)勵(li)自主(zhu)研發的12英寸光學(xue)測量(liang)設(she)(she)備TFX3000系列產品，正(zheng)在14nm芯片生產線進行驗(yan)證，尚(shang)未披露設(she)(she)備完(wan)成(cheng)驗(yan)收(shou)(shou)信(xin)(xin)息(xi)；上(shang)海精測推出(chu)的首款半導體電(dian)子束檢測設(she)(she)備正(zheng)在進行 1Xnm驗(yan)證，尚(shang)未披露設(she)(she)備完(wan)成(cheng)驗(yan)收(shou)(shou)信(xin)(xin)息(xi)。
中科(ke)飛測已有多臺(tai)設(she)(she)備在28nm產(chan)(chan)線(xian)通過驗收，另有對應1Xnm產(chan)(chan)線(xian)的(de)SPRUCE-900型號設(she)(she)備正在研發中，對應2Xnm以下產(chan)(chan)線(xian)的(de)DRAGONBLOOD-600型號設(she)(she)備正在產(chan)(chan)線(xian)進行驗證，并已取得(de)兩家客(ke)戶的(de)訂單。
綜上，中科飛測業務規(gui)模高于(yu)其他(ta)國(guo)內(nei)競(jing)爭對手，技術(shu)研(yan)發均向2Xnm以下節(jie)點推進，處于(yu)國(guo)內(nei)領先地位。
其部(bu)分員工曾于中(zhong)科(ke)院微電(dian)(dian)子(zi)所與中(zhong)科(ke)飛測處雙邊任職。報(bao)告期內，中(zhong)科(ke)飛測存在與中(zhong)科(ke)院微電(dian)(dian)子(zi)所合(he)作研發(fa)、與中(zhong)科(ke)院微電(dian)(dian)子(zi)所等其他單位分別共同申報(bao)科(ke)研課題項目的情況(kuang)。
四、產品落地中芯國際、士蘭集科、長電科技、華天科技、長江存儲、藍思科技
半導體檢測(ce)與量測(ce)設備(bei)市場部分客戶存在招(zhao)投標的情(qing)況，相(xiang)關招(zhao)投標結果在一定程度(du)上可以反(fan)映公(gong)司的領先優勢和市場占有率情(qing)況。
根(gen)據光大證券發(fa)布的研究報告《國(guo)內半導(dao)體設(she)備(bei)招(zhao)(zhao)投(tou)標(biao)(biao)月度(du)數據跟蹤第7期（2022年(nian)01月）》及公(gong)開招(zhao)(zhao)投(tou)標(biao)(biao)信息整(zheng)理，2021年(nian)度(du)國(guo)內主流廠商公(gong)開招(zhao)(zhao)標(biao)(biao)前道檢測及量測設(she)備(bei)185臺(tai)(tai)，其中中科飛(fei)測中標(biao)(biao)設(she)備(bei)14臺(tai)(tai)，其國(guo)內主要(yao)競爭(zheng)對手中標(biao)(biao)設(she)備(bei)1臺(tai)(tai)，中科飛(fei)測處于國(guo)內同行業企業領(ling)先地位，具(ju)體情況如下(xia)表所示：
中(zhong)科飛測(ce)(ce)的(de)客戶主(zhu)要(yao)(yao)(yao)為集成電(dian)路前道(dao)制程(cheng)、先進封裝等領域知名企業。其檢(jian)測(ce)(ce)設(she)備(bei)的(de)主(zhu)要(yao)(yao)(yao)代表客戶有中(zhong)芯(xin)國際、士蘭集科、長(chang)(chang)電(dian)科技(ji)、華(hua)天科技(ji)，量測(ce)(ce)設(she)備(bei)的(de)主(zhu)要(yao)(yao)(yao)代表客戶有長(chang)(chang)江(jiang)存(cun)儲、長(chang)(chang)電(dian)科技(ji)、華(hua)天科技(ji)、藍思科技(ji)。
報告期內，中(zhong)芯(xin)國際(ji)一直是中(zhong)科(ke)飛測的(de)(de)前五大客戶之(zhi)一，中(zhong)科(ke)飛測向(xiang)前五大客戶合計銷(xiao)售(shou)金額(e)占(zhan)當期銷(xiao)售(shou)總(zong)額(e)的(de)(de)比例(li)分別為72.72%、51.21%、44.32%、65.06%，不(bu)存(cun)在(zai)向(xiang)單個客戶的(de)(de)銷(xiao)售(shou)比例(li)超過公(gong)司(si)當年銷(xiao)售(shou)總(zong)額(e)的(de)(de)50%或嚴(yan)重依賴于(yu)少數客戶的(de)(de)情形。
2022年1-6月(yue)，中科(ke)飛(fei)測(ce)前五(wu)大客戶(hu)中華海清科(ke)為公司董事劉臻(zhen)擔任(ren)監(jian)事的企業，非中科(ke)飛(fei)測(ce)關聯(lian)(lian)方。除此之外，中科(ke)飛(fei)測(ce)、中科(ke)飛(fei)測(ce)董事、監(jian)事、高級(ji)管理人員或持有中科(ke)飛(fei)測(ce)5%以(yi)上股(gu)份的股(gu)東與(yu)前五(wu)大客戶(hu)之間不(bu)存在關聯(lian)(lian)關系。
報告期內(nei)，中(zhong)科飛測向前五(wu)大供(gong)應商(shang)合計采(cai)購金額(e)占當期采(cai)購總額(e)的(de)比例分別為35.69%、41.07%、37.08%、38.26%，不(bu)存(cun)在向單個供(gong)應商(shang)的(de)采(cai)購比例超過公司當年采(cai)購總額(e)50%或嚴重依賴于(yu)少(shao)數供(gong)應商(shang)的(de)情形。
中科(ke)飛(fei)測(ce)、中科(ke)飛(fei)測(ce)董事(shi)、監事(shi)、高(gao)級(ji)管理人員或(huo)持有中科(ke)飛(fei)測(ce)5%以上股(gu)份(fen)的(de)股(gu)東與報告期內的(de)前五大供(gong)應商之間不存(cun)在(zai)關聯關系。
中(zhong)科飛測所需原材料主要為運動與(yu)控制(zhi)系(xi)統類、光學類等零(ling)部件(jian)，已與(yu)樂孜(zi)公司、華卓精科等行業內知(zhi)名企(qi)(qi)業建立了穩定的(de)供(gong)應(ying)合作關系(xi)。其核心零(ling)部件(jian)的(de)供(gong)應(ying)商主要為有產(chan)品優(you)勢的(de)知(zhi)名企(qi)(qi)業，其中(zhong)EFEM和機械手主要來(lai)源于境外采購。
中(zhong)科飛測相關核心(xin)零部件(jian)不(bu)存(cun)在單一依賴(lai)。報告期內，其(qi)采(cai)購(gou)材料金額(e)分別(bie)為0.70億(yi)元、2.17億(yi)元、5.18億(yi)元、3.42億(yi)元，采(cai)購(gou)規模總(zong)體呈現增(zeng)長的態勢；其(qi)中(zhong)采(cai)購(gou)EFEM和(he)機械手的金額(e)分別(bie)為0.17億(yi)元、0.42億(yi)元、0.88億(yi)元、0.63億(yi)元，占采(cai)購(gou)總(zong)額(e)的比例分別(bie)為23.76%、19.40%、17.09%、18.29%。
五、蘇州翌流明為控股股東，中科院微電子所、華為哈勃參投
截至招股(gu)書簽署日，蘇州翌流明直接(jie)持有中(zhong)(zhong)(zhong)科(ke)(ke)飛(fei)測(ce)(ce)(ce)15.75%的股(gu)份，通過小納(na)光間接(jie)控制(zhi)中(zhong)(zhong)(zhong)科(ke)(ke)飛(fei)測(ce)(ce)(ce)7.86%的股(gu)份，合計控制(zhi)中(zhong)(zhong)(zhong)科(ke)(ke)飛(fei)測(ce)(ce)(ce)股(gu)份總數(shu)的23.61%，為中(zhong)(zhong)(zhong)科(ke)(ke)飛(fei)測(ce)(ce)(ce)控股(gu)股(gu)東(dong)。小納(na)光為中(zhong)(zhong)(zhong)科(ke)(ke)飛(fei)測(ce)(ce)(ce)員工持股(gu)平臺。
中(zhong)(zhong)科(ke)(ke)飛(fei)測(ce)的國有股(gu)東包括中(zhong)(zhong)科(ke)(ke)院微(wei)(wei)電子(zi)(zi)所(suo)和深(shen)創投，其(qi)中(zhong)(zhong)中(zhong)(zhong)科(ke)(ke)院微(wei)(wei)電子(zi)(zi)所(suo)是其(qi)第八(ba)大(da)股(gu)東，持股(gu)4.84%；華為旗下(xia)投資公司哈勃投資是其(qi)第十二大(da)股(gu)東，持股(gu)3.30%。
CHEN LU（陳(chen)魯(lu)）、哈(ha)(ha)承(cheng)姝夫婦直接和間(jian)接合計(ji)持股30.54%股份(fen)，為中(zhong)(zhong)科飛測(ce)(ce)實際控制人(ren)。同時CHEN LU（陳(chen)魯(lu)）、哈(ha)(ha)承(cheng)姝為中(zhong)(zhong)科飛測(ce)(ce)董(dong)事(shi)會或管理層(ceng)核心成員。中(zhong)(zhong)科飛測(ce)(ce)董(dong)事(shi)陳(chen)克復是與CHEN LU（陳(chen)魯(lu)）是父子關系。
CHEN LU（陳魯）出生于1977年，美(mei)國(guo)(guo)國(guo)(guo)籍，本(ben)科(ke)畢業(ye)于中國(guo)(guo)科(ke)學(xue)技術大(da)學(xue)少年班物(wu)理學(xue)專業(ye)，博(bo)(bo)士畢業(ye)于美(mei)國(guo)(guo)布朗大(da)學(xue)物(wu)理學(xue)專業(ye)，在2010年3月至2016年8月期間(jian)曾任中科(ke)院微電子所研究員(yuan)、博(bo)(bo)士生導(dao)師，現為中科(ke)飛測董事長(chang)。
哈承姝也出生于(yu)1977年，中國(guo)國(guo)籍(ji)，擁有香(xiang)港永(yong)久居(ju)留權，碩士(shi)(shi)畢業(ye)于(yu)耶魯(lu)大(da)學(xue)國(guo)際和發展(zhan)經濟學(xue)專業(ye)，博士(shi)(shi)畢業(ye)于(yu)美國(guo)華盛頓大(da)學(xue)職業(ye)法律(lv)專業(ye)，現(xian)為中科(ke)飛測(ce)董事兼總經理。
目前中科(ke)飛測有(you)3名核心技術人(ren)(ren)員，分別是(shi)董事長CHEN LU（陳魯）、首(shou)席科(ke)學(xue)家(jia)黃有(you)為、首(shou)席科(ke)學(xue)家(jia)楊樂(le)。2012年至2016年期間，三(san)人(ren)(ren)均曾(ceng)在中科(ke)院微電子所任職。
該公司現(xian)任董(dong)事(shi)、監事(shi)、高級管理人(ren)員及核心技術人(ren)員最近(jin)一年從中科飛測及關聯企(qi)業領(ling)取薪酬(chou)的情況如下(xia)：
結語：檢測與量測設備國產化率有望加速提升
當(dang)前主流(liu)半導體制(zhi)程正從28nm、14nm向10nm、7nm發展，部(bu)分(fen)先進芯片制(zhi)造(zao)商已實現5nm量產并開(kai)始3nm的研發，三(san)維FinFET晶體管、3D NAND等(deng)新技術逐(zhu)漸成(cheng)業內主流(liu)技術。隨著工藝不斷進步，產品制(zhi)程步驟越來越多，微觀結構逐(zhu)漸復(fu)雜，生產成(cheng)本呈指數級提升(sheng)。
為(wei)了獲取盡(jin)量高的(de)晶圓(yuan)(yuan)良品率，必須(xu)嚴格控制晶圓(yuan)(yuan)之間(jian)、同一(yi)晶圓(yuan)(yuan)上的(de)工(gong)藝一(yi)致性，因此對集成電路(lu)生產過程中的(de)質量控制需(xu)求將越來越大。未來檢測(ce)(ce)和(he)量測(ce)(ce)設(she)備需(xu)在靈敏度(du)、準確性、穩定(ding)性、吞吐量等(deng)指標(biao)上進(jin)一(yi)步提升，保證每道工(gong)藝均落(luo)在容許的(de)工(gong)藝窗(chuang)口內，保證整(zheng)條(tiao)生產線平(ping)穩連續的(de)運(yun)行。
目前國(guo)(guo)內(nei)半(ban)導體市(shi)場處于高速增長期(qi)，本土企(qi)業(ye)存在較大的(de)國(guo)(guo)產化空間(jian)。在我國(guo)(guo)半(ban)導體量(liang)測(ce)檢測(ce)設(she)備(bei)(bei)國(guo)(guo)產化率相(xiang)對較低的(de)情況(kuang)下，中科(ke)飛測(ce)作為國(guo)(guo)內(nei)半(ban)導體設(she)備(bei)(bei)行(xing)業(ye)領軍企(qi)業(ye)之一，在中國(guo)(guo)大陸半(ban)導體檢測(ce)和量(liang)測(ce)設(she)備(bei)(bei)市(shi)場具有相(xiang)對競爭(zheng)優(you)勢。
在(zai)國(guo)(guo)產(chan)(chan)化需求緊迫(po)、研發投入持續提升(sheng)的大環境下，近年來(lai)國(guo)(guo)內企業在(zai)檢測(ce)與(yu)量測(ce)領域(yu)突(tu)破較多，受益于(yu)國(guo)(guo)內半導體產(chan)(chan)業鏈的迅速發展，該領域(yu)國(guo)(guo)產(chan)(chan)化率(lv)有望在(zai)未來(lai)幾年加速提升(sheng)。
