芯東西（公眾號：aichip001）
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芯東西1月14日報道，剛剛，無錫星微科技有限公司（簡稱“XIVI”）宣布，半年內連續完成B輪及B+輪累計超億元融資。
其B輪投資方包括上汽集團旗下尚頎資本和老股東毅達資本；B+輪投資方包括兩支江蘇省戰略新興產業母基金：無錫集成電路產業專項母基金、南通新一代信息技術產業專項母基金，以及江蘇有線旗下睿輝資本。
這也是無錫、南通兩支戰新母基金的首個直投項目。
星微科技XIVI成立于2015年，有高精度運動平臺、晶圓傳輸設備兩大主營產品，是業內少數能夠同時提供半導體精密運動控制與晶圓自動化傳輸設備關鍵零部件的公司之一，也是極少數能夠實現底層核心零部件自研的廠商。
無錫科創集團投資團隊評價星微科技XIVI是“半導體運動控制領域的新星”，“滿足國內設備國產化的零部件需求”。南通科創集團投資團隊也強調星微科技的高精度運動平臺與晶圓傳輸系統“自主化程度屬行業頭部”。
其(qi)累計投資(zi)(zi)方包(bao)括耀途資(zi)(zi)本、毅(yi)達資(zi)(zi)本、中(zhong)匯金(jin)、北(bei)洋(yang)海棠基金(jin)、建發新興投資(zi)(zi)等知名機構(gou)。此前該公司曾在2023年7月(yue)獲(huo)得近億(yi)元A輪(lun)融資(zi)(zi)。
▲晶圓傳輸系統
星微科技XIVI致力于成為“晶圓超精密定位、傳輸、存儲一體化解決方案制造商”，掌握了多學科交叉的微米與納米級精密運動控制技術、精密制造與生產管理能力，通過提供模塊化和定制化的(de)產品及服務(wu)，能夠(gou)靈(ling)活適應不同客戶場景(jing)的(de)個(ge)性化需求，同時確保高效和穩定的(de)系統(tong)性能。
該(gai)公司2017年(nian)(nian)開始晶圓(yuan)(yuan)(yuan)傳(chuan)輸系(xi)統產品(pin)的設計(ji)研(yan)發，2019年(nian)(nian)研(yan)發生產晶圓(yuan)(yuan)(yuan)傳(chuan)輸系(xi)統核心產品(pin)晶圓(yuan)(yuan)(yuan)傳(chuan)輸機械臂，2020年(nian)(nian)起其精(jing)密(mi)運動臺(tai)及傳(chuan)輸系(xi)統在半導(dao)體量檢測類(lei)、泛半導(dao)體精(jing)密(mi)制(zhi)造等設備(bei)實現批量出貨。
當前星微已形成半導體設備關鍵零部件產品矩陣：高精度運動臺、晶圓傳輸設備、晶圓真空機械手等。其高自主化的運動臺和晶圓傳輸系統（EFEM、SORTER、晶圓機械手等）已批量供應(ying)國(guo)內頭部的量檢測設(she)備與工藝設(she)備廠商，并獲得客(ke)戶認可。
2024年11月，星微XIVI發布真空機械手新品。作為晶圓的真空傳輸系統中的基板搬運機器人，XIVI真空機械手的全連桿手臂機構采用全閉環控制方式，可實現更高的定位精度、更快的響應時間、更高的工作效率。首臺晶圓真空機械手即將交付至國內頭部客戶。
▲晶圓真空搬運機械手
官(guan)網顯示，星微科技(ji)XIVI擁有逾110項相關(guan)專(zhuan)利，自研(yan)運動平臺出貨總(zong)量(liang)2000+、自研(yan)晶圓設備出貨總(zong)量(liang)300+。
尚(shang)頎資本投資團(tuan)隊認為，隨著半(ban)導體(ti)行(xing)業國產(chan)替代對高(gao)精度運動(dong)控制系統需求激增，半(ban)導體(ti)設備子系統與零(ling)部件的國產(chan)化(hua)率進入(ru)加速(su)提升階段，星微(wei)科技作為該領域頭部公司具備極(ji)強的發展潛(qian)力。
在毅(yi)達資(zi)本先進制(zhi)(zhi)造投資(zi)事(shi)業部徐杰(jie)博士看來，星微(wei)科技擁有底(di)層設計(ji)和制(zhi)(zhi)造能(neng)力，其生產工藝涉及精(jing)密機械制(zhi)(zhi)造、工程材料、工程設計(ji)等多個領域，能(neng)夠與頭部半(ban)導體設備客戶形成高效(xiao)合作研發和快速迭代。
當前，半(ban)導(dao)(dao)體設備零部(bu)件(jian)(jian)國產替(ti)代步伐(fa)加快(kuai)，驅動上游的(de)關(guan)鍵零部(bu)件(jian)(jian)替(ti)代加速。星微自研的(de)真空傳輸系列產品，是半(ban)導(dao)(dao)體制(zhi)造中極其重要的(de)核心子系統零部(bu)件(jian)(jian)之一(yi)，為半(ban)導(dao)(dao)體行業提供了(le)可(ke)替(ti)代化的(de)自主精密運動控制(zhi)解決方案。
星微科技XIVI計(ji)劃繼續加大在技術研(yan)發上的投入，推動半(ban)導體(ti)精密運動控(kong)制產品的創(chuang)新(xin)升級，為半(ban)導體(ti)市場提供更多創(chuang)新(xin)工業產品。
