芯東西（公眾號：aichip001）
作者 | ?ZeR0
編輯 | ?漠影
芯東西7月7日報道，6月30日，國內領先的半導體制造設備核心部件提供商及真空科學儀器設備供應商中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（簡稱“中科儀”）北交所(suo)IPO申請獲受理。
中科(ke)儀有限公司成立(li)于2001年4月，股份公司成立(li)于2011年12月，注(zhu)冊(ce)(ce)地址在沈陽市，注(zhu)冊(ce)(ce)資本為1.72億元，被評為2020年度、2023年度國(guo)家“專(zhuan)精(jing)特新(xin)”小巨(ju)人企業(ye)。
其(qi)法(fa)定代(dai)表人(ren)為中科(ke)儀董事長郭東民(min)，控(kong)股股東是國(guo)(guo)科(ke)科(ke)儀控(kong)股有(you)限公司，實際控(kong)制人(ren)是中國(guo)(guo)科(ke)學院控(kong)股有(you)限公司。
作為中國科學院下屬專注于潔凈真空、超高真空技術研究和發展的企業，中科儀是我國真空技術及真空類科學儀器攻堅的主力軍，是集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵制造企業，也是唯一在集成電路先進制程實現批量應用的國產企業，以及唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現批量應用的國產企業，有效保障了(le)我國(guo)集(ji)成電(dian)路制(zhi)造設備(bei)關鍵(jian)零(ling)部件的自主可控(kong)和供(gong)應(ying)鏈(lian)安全。
中(zhong)科儀(yi)的(de)主要產(chan)品包括用于集成電(dian)路晶圓制造(zao)及光伏電(dian)池等泛半導(dao)體產(chan)品制造(zao)的(de)干式真空泵，以(yi)及面(mian)向(xiang)國家重大科技基礎設施(shi)和(he)科研領域的(de)真空科學儀(yi)器設備(bei)。
截至目前，中科儀各類干式真空泵的出貨量已累計超過4萬臺，其中集成電路領域出貨量超2.5萬臺。
根據市場預計數據測算，2024年中科儀干式真空泵在集成電路領域國內市占率約為12.72%，打破歐美及日本(ben)企(qi)業在國內(nei)市場的長期壟斷(duan)。國內(nei)主要同(tong)行業企(qi)業尚處(chu)于小批(pi)量(liang)導入階段。
其集成電路企業客戶數量已超過100家，包括中芯國際、華虹集團、長江存儲、長鑫存儲、晶合集成、華潤微、上海積塔、廣州粵芯、青島芯恩等國內主流晶圓廠，以及北方華創、拓荊科技、中微公司等國內領先半導體設備制造企業，且產品已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現小批量(liang)出貨。
截至(zhi)2024年(nian)末(mo)，中科(ke)儀分(fen)別持有拓荊科(ke)技1.54%股份、中科(ke)信(xin)息0.80%股份，公允價值合計7.35億元，占中科(ke)儀期末(mo)資產總(zong)額的比例為25.20%。
中(zhong)科(ke)儀于2014年(nian)7月(yue)16日在(zai)全國中(zhong)小企業股份轉讓系統（新(xin)三板）掛牌上(shang)市，2020年(nian)曾向上(shang)交所提(ti)交了科(ke)創板IPO申(shen)請，但隨后在(zai)2021年(nian)5月(yue)主動撤回。目前中(zhong)科(ke)儀最新(xin)市值(zhi)為74億(yi)元。
本次IPO，中科儀擬募資8.25億元，用于(yu)干(gan)式(shi)真空(kong)泵產業化(hua)建(jian)設(she)(she)、高(gao)端半導體設(she)(she)備擴產及研發中心建(jian)設(she)(she)、新(xin)一(yi)代干(gan)式(shi)真空(kong)泵及大抽速干(gan)式(shi)螺桿泵研發項目。
一、年收入超10億，持股拓荊科技、中科信息
真空泵是半導體制造的關鍵部件。集成電路產業15個主要工藝環節中的11個需要使用真空泵實現真空環境的獲得，占比超過70%。
隨著集成電路制程(cheng)逐漸向先(xian)進工(gong)藝(yi)演進，制造的精細度(du)和復雜度(du)顯著提升，對潔凈真空(kong)(kong)環(huan)境的要(yao)(yao)求也更加苛刻(ke)，越(yue)(yue)來越(yue)(yue)多的工(gong)序(xu)需要(yao)(yao)移入真空(kong)(kong)環(huan)境中(zhong)進行，且每(mei)道工(gong)序(xu)所需要(yao)(yao)的真空(kong)(kong)泵的數(shu)量和技(ji)術要(yao)(yao)求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)高。
例如當先進工藝演進到(dao)7nm時，必須使(shi)用EUV光刻(ke)技術(shu)，與傳統光刻(ke)技術(shu)不同的是，EUV光刻(ke)技術(shu)必須在真空環境中才能實現。
作為中國(guo)科(ke)學院下屬(shu)專(zhuan)注于潔凈真(zhen)空、超高真(zhen)空技術研(yan)究和發展(zhan)的單位，中科(ke)儀前身自1958年(nian)成立以來一直圍繞國(guo)家(jia)科(ke)技創新需求，承(cheng)擔(dan)多項重大科(ke)研(yan)項目，開展(zhan)真(zhen)空技術研(yan)發，是真(zhen)空類科(ke)學儀器設備(bei)攻堅(jian)的主力軍。
在此基礎(chu)上，中(zhong)科儀持續將研發成(cheng)果轉化(hua)為產業應(ying)用(yong)，提升干式(shi)真空泵的(de)國產化(hua)水平和應(ying)用(yong)規(gui)模，逐漸成(cheng)為中(zhong)國半導體和泛半導體領域(yu)的(de)核心(xin)零(ling)部件(jian)提供商(shang)。
▲中科儀主營業務演(yan)變情況
2022年、2023年、2024年，中科儀(yi)的(de)營收(shou)分別(bie)為6.98億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、8.52億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、10.82億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)，凈利潤分別(bie)為4.98億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、6.00億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、1.93億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)，研發費用分別(bie)為0.60億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、0.85億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、1.10億(yi)(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)。
▲2022年(nian)~2024年(nian)中科儀(yi)營收(shou)、凈利潤、研發支出變化（芯東西(xi)制圖）
其凈利潤波動較大，主(zhu)要原因是截(jie)至(zhi)2024年末，中(zhong)科(ke)儀分(fen)別持有(you)A股(gu)(gu)(gu)上(shang)市公司(si)拓荊科(ke)技1.54%股(gu)(gu)(gu)份、中(zhong)科(ke)信息0.80%股(gu)(gu)(gu)份。報告期內各期，中(zhong)科(ke)儀因持有(you)這些上(shang)市公司(si)股(gu)(gu)(gu)份產生的公允(yun)價值(zhi)變動損(sun)益和出售股(gu)(gu)(gu)份產生的投資(zi)收益合(he)計(ji)分(fen)別為4.62億元(yuan)、5.46億元(yuan)、0.08億元(yuan)，均計(ji)入非經常性損(sun)益。
中(zhong)科儀歸屬于母公(gong)司(si)所有者的扣除非(fei)經常性(xing)損(sun)益后的凈利潤由2022年的6186.11萬(wan)元(yuan)(yuan)增(zeng)至2024年的8787.75萬(wan)元(yuan)(yuan)，復合增(zeng)長率為19.19%。
2022年、2023年、2024年，中科儀的綜合毛(mao)利(li)(li)率(lv)分別為(wei) 32.60%、33.02%、29.44%，低于(yu)同行業(ye)上市(shi)公(gong)(gong)司(si)(si)(si)，主(zhu)要原(yuan)因是拓荊科技、華(hua)海清科、北方華(hua)創、中微公(gong)(gong)司(si)(si)(si)均從事半(ban)導體(ti)核心設備的研發生產(chan)和銷(xiao)售，議價(jia)能力(li)相(xiang)較中科儀更強，產(chan)品(pin)毛(mao)利(li)(li)率(lv)相(xiang)對較高；與中科儀產(chan)品(pin)在半(ban)導體(ti)產(chan)線(xian)應用場景較為(wei)相(xiang)像的上市(shi)公(gong)(gong)司(si)(si)(si)為(wei)京儀裝備，毛(mao)利(li)(li)率(lv)無顯(xian)著(zhu)差(cha)異(yi)。
按(an)產品及服(fu)務類別區分(fen)，干(gan)式真空泵(beng)是中科儀的第一大收入支(zhi)柱，過去(qu)三年收入占比逐年增長。
2024年，其(qi)超過(guo)84%的收入來自集成電路應用領域。
中科儀自主研(yan)發(fa)形(xing)成了8大核心(xin)技術(shu)。截(jie)至2024年末，該公司共(gong)有158名研(yan)發(fa)人員，占(zhan)員工總數的(de)16.83%；擁有發(fa)明專利99項(xiang)，取(qu)得軟件著作(zuo)權登記30項(xiang)，負責或作(zuo)為主要參與方起(qi)草(cao)了13項(xiang)真空技術(shu)相(xiang)關的(de)國(guo)家、行業及團體標準(zhun)。
二、研制3大系列近40款干式真空泵，大客戶包括長江存儲、中芯國際
2022~2024年(nian)，中科(ke)儀干式真(zhen)空泵的銷(xiao)量超過(guo)2萬臺(tai)。
干式真空泵是半導體和泛半導體領域主流用泵。中科儀的干式真空泵產品主要為羅茨干泵，研制的3大系列近40款型號干式真空泵產品已實現大批量應用，可適配ASML、KLA、LAM Research、AMAT、TEL、HITACHI、北方華創、中微公司、拓荊科技、東方晶源等30余家國內外主流設備廠商的數百種機(ji)臺，全(quan)面滿足(zu)市場多(duo)樣化需求。
半導體苛刻工藝制程工況復雜，對干式真空泵的要求極高。中科儀率先研制出用于苛刻工藝制程的產品，打破國外廠商的長期壟斷，其干式真空泵產品滿足14nm先進邏輯芯片以及128層及以上 3D NAND等(deng)存(cun)儲器工藝的(de)生(sheng)產需(xu)要(yao)，已(yi)在中國(guo)各領(ling)先晶圓制造企業實現(xian)大批量應用。
除硅基半導體外，其干(gan)式真空(kong)泵產(chan)品(pin)也可(ke)廣泛應(ying)用于碳化硅、砷化鎵等化合(he)物半導體的制(zhi)備(bei)，并已實現批量交(jiao)付(fu)。
2022年、2023年、2024年，中科(ke)儀向前五名客戶(hu)的銷售金額(e)分(fen)別占當期營收的42.11%、41.84%、44.06%，不存(cun)在(zai)向單(dan)個客戶(hu)的銷售比例超過總額(e)50%的情形，也不存(cun)在(zai)嚴重依賴(lai)于少數客戶(hu)的情形。
過去三年，其大(da)客(ke)戶包括長江存儲、隆基綠能(neng)(neng)、中芯國際、青島芯恩、中科院高能(neng)(neng)物理(li)研究所(suo)、上海積塔半(ban)導(dao)體、長鑫科技、北方華創等。
中科儀持股5%以(yi)上(shang)的股東國家集(ji)成電路基金，直接(jie)持有上(shang)述(shu)主(zhu)要客戶(hu)權益(yi)情(qing)況如下：
同期(qi)，中科儀向(xiang)前五(wu)名供應(ying)(ying)商(shang)的(de)采購(gou)金(jin)額(e)分別占當期(qi)總采購(gou)額(e)的(de)35.97%、30.33%、34.83%，不存在向(xiang)單個供應(ying)(ying)商(shang)的(de)采購(gou)比例(li)超過總額(e)50%的(de)情形，也不存在嚴重依賴于(yu)少數供應(ying)(ying)商(shang)的(de)情形。
報告期內，中(zhong)科儀控(kong)股股東、實際(ji)控(kong)制人(ren)、董事、監事、高級管理人(ren)員(yuan)以(yi)及持股5%以(yi)上(shang)的股東與上(shang)述(shu)供應商(shang)(shang)不存在關聯關系，亦(yi)不存在占有上(shang)述(shu)供應商(shang)(shang)權(quan)益的情(qing)形。
三、背靠中科院，國家大基金為第二大股東
截至招股(gu)(gu)書簽署日，國(guo)科(ke)科(ke)儀(yi)占中科(ke)儀(yi)股(gu)(gu)份(fen)總數35.21%，是(shi)中科(ke)儀(yi)的控股(gu)(gu)股(gu)(gu)東。
中國(guo)科(ke)(ke)(ke)學(xue)院控股(gu)有限公司（簡稱(cheng)“國(guo)科(ke)(ke)(ke)控股(gu)”）持有國(guo)科(ke)(ke)(ke)科(ke)(ke)(ke)儀(yi)100%股(gu)權(quan)，通過國(guo)科(ke)(ke)(ke)科(ke)(ke)(ke)儀(yi)控制(zhi)中科(ke)(ke)(ke)儀(yi)35.21%股(gu)份，是中科(ke)(ke)(ke)儀(yi)的實際控制(zhi)人。中國(guo)科(ke)(ke)(ke)學(xue)院持有國(guo)科(ke)(ke)(ke)控股(gu)100%股(gu)權(quan)。
持有中科儀5%以上股份(fen)的股東還包括：國家集成電(dian)路(lu)基金，持股19.73%；渾璞五期，持股5.01%。
▲本次發行前(qian)中(zhong)科儀前(qian)十名股東情況
截至2025年6月9日，中科儀董事(shi)、監事(shi)、高(gao)級管理人員及(ji)(ji)其近親屬持(chi)股(gu)情況(kuang)及(ji)(ji)該等(deng)股(gu)份截至招股(gu)書簽(qian)署日的限售情況(kuang)如(ru)下(xia)：
其核心技(ji)術人員持(chi)有(you)中科儀的股份(fen)情況如下(xia)：
結語：國外企業仍有先發優勢，真空泵面臨市場競爭加劇風險
國外領(ling)(ling)先真空泵企業成立時間(jian)較早、業務規(gui)模(mo)較大、產品布局完備，并已(yi)在多(duo)個應用(yong)領(ling)(ling)域(yu)實(shi)現規(gui)模(mo)化應用(yong)。Edwards、Ebara 等國際領(ling)(ling)先廠商在真空技(ji)術領(ling)(ling)域(yu)擁有數十年(nian)的研(yan)發、制造經驗，積(ji)累(lei)了大量產品設計和技(ji)術工藝。這些廠商已(yi)在國內外主要(yao)設備廠或晶(jing)圓廠中實(shi)現導入，具有先發優勢(shi)。
目前中(zhong)科(ke)儀(yi)的干式(shi)真空泵在(zai)集成電(dian)(dian)路應(ying)用領(ling)(ling)(ling)域中(zhong)，在(zai)國(guo)產(chan)廠(chang)商(shang)中(zhong)處于絕(jue)對領(ling)(ling)(ling)先地位。雖(sui)然近(jin)年來受國(guo)家重大(da)科(ke)技(ji)專項(xiang)等政(zheng)策支持，以(yi)中(zhong)科(ke)儀(yi)為代(dai)表(biao)的國(guo)內企(qi)業(ye)(ye)實現(xian)了在(zai)集成電(dian)(dian)路制造領(ling)(ling)(ling)域的技(ji)術突破(po)和產(chan)業(ye)(ye)化，但由于我國(guo)相關產(chan)業(ye)(ye)起步較晚、規模(mo)有(you)限、產(chan)業(ye)(ye)基礎相對薄弱，與國(guo)外知(zhi)名(ming)的競爭對手相比在(zai)品牌知(zhi)名(ming)度、產(chan)品批(pi)量應(ying)用規模(mo)等方(fang)面均存在(zai)一定劣勢。
此外，規模較大的晶圓廠在選擇零部件供應(ying)商時，通常(chang)會(hui)優先(xian)考(kao)慮真空泵(beng)已在其(qi)產(chan)(chan)線中(zhong)(zhong)批量應(ying)用，或(huo)真空泵(beng)已成功應(ying)用至(zhi)其(qi)他領先(xian)晶圓廠產(chan)(chan)線中(zhong)(zhong)的供應(ying)商。
報告期內，中(zhong)科儀(yi)(yi)銷售的干式真空泵主要應用于集成電路、光伏(fu)領域(yu)(yu)。而國(guo)際(ji)領先廠商的產品類型豐富(fu)，下游(you)應用覆(fu)蓋(gai)半導(dao)體(ti)、泛半導(dao)體(ti)、工(gong)業制造、生物醫藥等多個領域(yu)(yu)。相比之下，中(zhong)科儀(yi)(yi)的產品覆(fu)蓋(gai)領域(yu)(yu)有限，仍需進一步(bu)拓展，并面臨(lin)市場競爭加劇的風險(xian)。
